Article Dans Une Revue
physica status solidi (a)
Année : 2012
Bruno CANUT : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01965024
Soumis le : lundi 24 décembre 2018-15:54:12
Dernière modification le : mercredi 3 avril 2024-11:14:12
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01965024 , version 1
Citer
D. Jalabert, D. Pelloux-Gervais, A. Béché, J. Hartmann, P. Gergaud, et al.. Depth strain profile with sub-nm resolution in a thin silicon film using medium energy ion scattering. physica status solidi (a), 2012, 209 (2), pp.262-265. ⟨hal-01965024⟩
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