Fabrication of top-down gold nanostructures using a damascene process - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2017
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Dates et versions

hal-01914359 , version 1 (06-11-2018)

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Citer

Mouawad Merhej, Dominique A Drouin, Bassem Salem, Thierry Baron, Serge Ecoffey. Fabrication of top-down gold nanostructures using a damascene process. Microelectronic Engineering, 2017, 177, pp.41 - 45. ⟨10.1016/j.mee.2017.02.005⟩. ⟨hal-01914359⟩
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