Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2017
UMI3463 LN2 : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01914359
Soumis le : mardi 6 novembre 2018-19:30:02
Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:52:30
Citer
Mouawad Merhej, Dominique A Drouin, Bassem Salem, Thierry Baron, Serge Ecoffey. Fabrication of top-down gold nanostructures using a damascene process. Microelectronic Engineering, 2017, 177, pp.41 - 45. ⟨10.1016/j.mee.2017.02.005⟩. ⟨hal-01914359⟩
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