Procédé de microfabrication de transformateurs intégrés
Résumé
Les convertisseurs de puissance voient leur fréquence de découpage augmenter dans l'objectif de miniaturiser les composants passifs. Les transformateurs de faible puissance sont utilisés pour l'isolation galvanique des alimentations drivers. Un procédé existant [3] permet la fabrication collective d'inductances sur substrat magnétique en réalisant un enroulement par électrodéposition. Il a été possible de l'améliorer en isolant électriquement le substrat magnétique d'une part et en réalisant deux enroulements distincts d'autre part pour réaliser une fonction transformateur. Le transformateur présenté est conçu pour une puissance de 1 W et une plage de température de fonctionnement comprise entre −55°C et 200°C. L'empreinte de 5,24 mm par 8,68 mm et d'une épaisseur d'environ 1mm (épaisseur du substrat magnétique).
Domaines
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