Low temperature capacitive micromachined ultrasonic transducers (cMUTs) on glass substrate - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Micromechanics and Microengineering Année : 2016
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01741067 , version 1 (22-03-2018)

Identifiants

Citer

Emilie Bahette, Jean-François Michaud, Dominique Certon, Dominique Gross, Marie Perroteau, et al.. Low temperature capacitive micromachined ultrasonic transducers (cMUTs) on glass substrate. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2016, 26 (11), ⟨10.1088/0960-1317/26/11/115023⟩. ⟨hal-01741067⟩
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