Article Dans Une Revue
Journal of Micromechanics and Microengineering
Année : 2016
Jean-François Michaud : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01741067
Soumis le : jeudi 22 mars 2018-16:15:04
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:06
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01741067 , version 1
- DOI : 10.1088/0960-1317/26/11/115023
Citer
Emilie Bahette, Jean-François Michaud, Dominique Certon, Dominique Gross, Marie Perroteau, et al.. Low temperature capacitive micromachined ultrasonic transducers (cMUTs) on glass substrate. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2016, 26 (11), ⟨10.1088/0960-1317/26/11/115023⟩. ⟨hal-01741067⟩
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