Mass spectrometry of positive ions in capacitively coupled low pressure RF discharges in oxygen with water impurities - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Physics D: Applied Physics Année : 2016
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Dates et versions

hal-01331633 , version 1 (14-06-2016)

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Citer

Ilija Stefanovic, Johannes Berndt, Chantal Boulmer-Leborgne, Thomas Lecas, Eva Kovacevic, et al.. Mass spectrometry of positive ions in capacitively coupled low pressure RF discharges in oxygen with water impurities. Journal of Physics D: Applied Physics, 2016, 49, 265202 (6pp). ⟨10.1088/0022-3727/49/26/265202⟩. ⟨hal-01331633⟩
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