Mass spectrometry of positive ions in capacitively coupled low pressure RF discharges in oxygen with water impurities - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal of Physics D: Applied Physics Année : 2016

Mass spectrometry of positive ions in capacitively coupled low pressure RF discharges in oxygen with water impurities

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Eva Kovacevic  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01331633

Soumis le : mardi 14 juin 2016-11:09:17

Dernière modification le : mercredi 30 octobre 2024-18:18:44

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Dates et versions

hal-01331633 , version 1 (14-06-2016)

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Citer

Ilija Stefanovic, Johannes Berndt, Chantal Boulmer-Leborgne, Thomas Lecas, Eva Kovacevic, et al.. Mass spectrometry of positive ions in capacitively coupled low pressure RF discharges in oxygen with water impurities. Journal of Physics D: Applied Physics, 2016, 49, 265202 (6pp). ⟨10.1088/0022-3727/49/26/265202⟩. ⟨hal-01331633⟩

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