Communication Dans Un Congrès
Année : 2013
Thomas Tillocher : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00831337
Soumis le : jeudi 6 juin 2013-17:13:04
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:57
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00831337 , version 1
Citer
Thomas Tillocher, Julien Ladroue, Philippe Lefaucheux, Mohamed Boufnichel, Remi Dussart. Plasma surface interactions in deep dry etching. Workshop on particle - surface interactions : from surface analysis to materials processing, Jun 2013, Luxembourg, Luxembourg. ⟨hal-00831337⟩
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