Plasma surface interactions in deep dry etching - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2013
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00831337 , version 1 (06-06-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00831337 , version 1

Citer

Thomas Tillocher, Julien Ladroue, Philippe Lefaucheux, Mohamed Boufnichel, Remi Dussart. Plasma surface interactions in deep dry etching. Workshop on particle - surface interactions : from surface analysis to materials processing, Jun 2013, Luxembourg, Luxembourg. ⟨hal-00831337⟩
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