A novel amorphization-etch alternating process for Si(100) - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Micromechanics and Microengineering Année : 2013
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00831302 , version 1 (06-06-2013)

Identifiants

Citer

Nasreddine Mekkakia Maaza, Remi Dussart, Thomas Tillocher, Philippe Lefaucheux, Pierre Ranson. A novel amorphization-etch alternating process for Si(100). Journal of Micromechanics and Microengineering, 2013, 23, pp.045023. ⟨10.1088/0960-1317/23/4/045023⟩. ⟨hal-00831302⟩
30 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More