Article Dans Une Revue
Journal of Micromechanics and Microengineering
Année : 2013
Remi Dussart : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00831302
Soumis le : jeudi 6 juin 2013-16:32:07
Dernière modification le : mardi 4 juin 2024-11:26:03
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00831302 , version 1
- DOI : 10.1088/0960-1317/23/4/045023
Citer
Nasreddine Mekkakia Maaza, Remi Dussart, Thomas Tillocher, Philippe Lefaucheux, Pierre Ranson. A novel amorphization-etch alternating process for Si(100). Journal of Micromechanics and Microengineering, 2013, 23, pp.045023. ⟨10.1088/0960-1317/23/4/045023⟩. ⟨hal-00831302⟩
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