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Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Optimization of electrodes design for PZT thin-film actuated membranes

F. Casset
  • Fonction : Auteur
H. Michaud
  • Fonction : Auteur
T. Ricart
  • Fonction : Auteur
G. Le Rhun
  • Fonction : Auteur
M. Cueff
  • Fonction : Auteur
J. Abergel
  • Fonction : Auteur
D. Faralli
  • Fonction : Auteur
E. Defay
  • Fonction : Auteur

Résumé

This paper reports on the optimization of electrodes design for sol-gel Pb(Zr0.52, Ti0.48)O3 (PZT) thin-film actuated-membranes. PZT can be used in many actuator applications such as micro mirror, RF MEMS, inkjet or loudspeaker due to its strong piezoelectric properties. We aim to design membrane-based actuators with the optimum electrode dimensions allowing the largest membrane displacement under a given actuation voltage. We present in this paper measurement results, in good agreement with the finite element modeling, proving that an actuator area between 50 and 60% of the membrane area exhibits the highest deflection.

Mots clés

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Dates et versions

hal-00801141 , version 1 (12-07-2022)

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Paternité - Pas d'utilisation commerciale - Pas de modification

Identifiants

Citer

F. Casset, H. Michaud, T. Ricart, G. Le Rhun, M. Cueff, et al.. Optimization of electrodes design for PZT thin-film actuated membranes. 26th European Conference on Solid-State Transducers, Eurosensors XXVI, Sep 2012, Kraków, Poland. pp.108-111, ⟨10.1016/j.proeng.2012.09.096⟩. ⟨hal-00801141⟩
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