Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2011
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00634119
Soumis le : jeudi 20 octobre 2011-12:20:42
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:52:27
Citer
T. Honegger, T. Elmberg, K. Berton, D. Peyrade. Visible microlaser two-photon polymerization in a microfludic cell: A resist study. Microelectronic Engineering, 2011, 88 (8), pp.2725-2728. ⟨10.1016/j.mee.2010.12.094⟩. ⟨hal-00634119⟩
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