Capteurs résonants M/NEMS et phénomènes non linéaires - Archive ouverte HAL Access content directly
Journal Articles Acoustique et Techniques : trimestriel d'information des professionnels de l'acoustique Year : 2009

Capteurs résonants M/NEMS et phénomènes non linéaires

Abstract

Les capteurs résonants de type M/NEMS jouent et joueront un rôle essentiel dans les nouvelles technologies. Cependant leur comportement est souvent fortement non linéaire ce qui est préjudiciable à la précision de la mesure exigée. Les résonateurs M/NEMS analysés ont des comportements complexes combinant raidissements, assouplissements, instabilités latérales car régis par des larges déflexions, des excitations paramétriques, des couplages géométrique et électrique. Ces comportements nécessitent une conception soigneuse qui doit s'appuyer sur des modèles les plus simples possibles mais tout en gardant leur pertinence pour modéliser au mieux les différents phénomènes physiques en jeu.
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Dates and versions

hal-00633135 , version 1 (19-09-2014)

Identifiers

  • HAL Id : hal-00633135 , version 1

Cite

Najib Kacem, Sebastien Hentz, Sébastien Baguet, Régis Dufour. Capteurs résonants M/NEMS et phénomènes non linéaires. Acoustique et Techniques : trimestriel d'information des professionnels de l'acoustique, 2009, 57, pp.10-14. ⟨hal-00633135⟩
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