Dépôt de polymères organosiliciés par PECVD et RPECVD sur substrats structurés - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Dépôt de polymères organosiliciés par PECVD et RPECVD sur substrats structurés

Céline Vivien
V. Rouessac
S. Roualdes
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00573205 , version 1 (04-03-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00573205 , version 1

Citer

P. Supiot, Céline Vivien, V. Rouessac, S. Roualdes. Dépôt de polymères organosiliciés par PECVD et RPECVD sur substrats structurés. MATERIAUX 2010, Conférence pluridisciplinaire sur les matériaux, 2010, France. pp.1-4. ⟨hal-00573205⟩
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