Dépôt de polymères organosiliciés par PECVD et RPECVD sur substrats structurés - Archive ouverte HAL
Conference Papers Year : 2010

Dépôt de polymères organosiliciés par PECVD et RPECVD sur substrats structurés

P. Supiot
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
Céline Vivien
V. Rouessac
CV
S. Roualdes
CV

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https://hal.science/hal-00573205

Submitted on : Friday, March 4, 2011-8:49:02 AM

Last modification on : Wednesday, January 24, 2024-9:54:18 AM

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Dates and versions

hal-00573205 , version 1 (04-03-2011)

Identifiers

  • HAL Id : hal-00573205 , version 1

Cite

P. Supiot, Céline Vivien, V. Rouessac, S. Roualdes. Dépôt de polymères organosiliciés par PECVD et RPECVD sur substrats structurés. MATERIAUX 2010, Conférence pluridisciplinaire sur les matériaux, 2010, France. pp.1-4. ⟨hal-00573205⟩

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