Communication Dans Un Congrès
Année : 2010
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https://hal.science/hal-00573205
Soumis le : vendredi 4 mars 2011-08:49:02
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00573205 , version 1
Citer
P. Supiot, Céline Vivien, V. Rouessac, S. Roualdes. Dépôt de polymères organosiliciés par PECVD et RPECVD sur substrats structurés. MATERIAUX 2010, Conférence pluridisciplinaire sur les matériaux, 2010, France. pp.1-4. ⟨hal-00573205⟩
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