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Communication Dans Un Congrès Année : 2008

Reliability study of dielectric less electrostatic actuators : application to MEMS switches.

David Mardivirin
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 919510
David Bouyge
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 919452
Arnaud Pothier
Aurelian Crunteanu
Pierre Blondy
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915831
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00358118 , version 1 (02-02-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00358118 , version 1

Citer

David Mardivirin, David Bouyge, Arnaud Pothier, Aurelian Crunteanu, Pierre Blondy. Reliability study of dielectric less electrostatic actuators : application to MEMS switches.. Caneus MNT Reliability Workshop 2008., May 2008, Toulouse, France. ⟨hal-00358118⟩

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