"Effect of plasma treatments on a porous low-k materials. Study of pore sealing" - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microporous and Mesoporous Materials Année : 2007

"Effect of plasma treatments on a porous low-k materials. Study of pore sealing"

W. Puyrenier
  • Fonction : Auteur
V. Rouessac
L. Broussous
  • Fonction : Auteur
D. Rebiscoul

Domaines

Chimie

Dates et versions

hal-00204167 , version 1 (14-01-2008)

Identifiants

Citer

W. Puyrenier, V. Rouessac, L. Broussous, D. Rebiscoul, A. Ayral. "Effect of plasma treatments on a porous low-k materials. Study of pore sealing". Microporous and Mesoporous Materials, 2007, 106, pp.40-48. ⟨10.1016/j.micromeso.2007.02.009⟩. ⟨hal-00204167⟩
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