A novel structure of RF MEMS capacitive series switch for avoiding power induced stiction. - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

A novel structure of RF MEMS capacitive series switch for avoiding power induced stiction.

J.D. Martinez
  • Fonction : Auteur
Pierre Blondy
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915831
Arnaud Pothier
David Bouyge
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 919452
Aurelian Crunteanu
Matthieu Chatras
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00199083 , version 1 (18-12-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00199083 , version 1

Citer

J.D. Martinez, Pierre Blondy, Arnaud Pothier, David Bouyge, Aurelian Crunteanu, et al.. A novel structure of RF MEMS capacitive series switch for avoiding power induced stiction.. 8th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems, MEMSWAVE 2007., Jun 2007, Barcelona, Spain. ⟨hal-00199083⟩

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