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Communication Dans Un Congrès Année : 2001

ECR-silicon nitride passivation of III-V transistors

S. Shapoval
  • Fonction : Auteur
V. Gurtovoi
  • Fonction : Auteur
A. Kovalchuk
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00152674 , version 1 (07-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00152674 , version 1

Citer

S. Shapoval, V. Gurtovoi, A. Kovalchuk, Christophe Gaquière. ECR-silicon nitride passivation of III-V transistors. XXV Workshop on Compound Semiconductor Devices and Integrated Circuits held in Europe, WOCSDICE 2001, 2001, Cagliari, Sardinia, Italy. ⟨hal-00152674⟩
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