Isolation de transistors dans la filière nitrure de gallium par implantation d'argon - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2002

Isolation de transistors dans la filière nitrure de gallium par implantation d'argon

J.C. Pesant
  • Fonction : Auteur
Jean-Claude de Jaeger
B. Boudart
P. Dhamelincourt
  • Fonction : Auteur
M.A. Poisson
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00149716 , version 1 (28-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00149716 , version 1

Citer

Y. Guhel, J.C. Pesant, Jean-Claude de Jaeger, B. Boudart, P. Dhamelincourt, et al.. Isolation de transistors dans la filière nitrure de gallium par implantation d'argon. 9èmes Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique, JNMO 2002, 2002, Saint Aigulf, France. ⟨hal-00149716⟩
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