Communication Dans Un Congrès
Année : 2002
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https://hal.science/hal-00149716
Soumis le : lundi 28 mai 2007-11:21:43
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00149716 , version 1
Citer
Y. Guhel, J.C. Pesant, Jean-Claude de Jaeger, B. Boudart, P. Dhamelincourt, et al.. Isolation de transistors dans la filière nitrure de gallium par implantation d'argon. 9èmes Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique, JNMO 2002, 2002, Saint Aigulf, France. ⟨hal-00149716⟩
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