Isolation de transistors dans la filière nitrure de gallium par implantation d'argon - Archive ouverte HAL Access content directly
Conference Papers Year : 2002

Isolation de transistors dans la filière nitrure de gallium par implantation d'argon

J.C. Pesant
  • Function : Author
Jean-Claude de Jaeger
B. Boudart
P. Dhamelincourt
  • Function : Author
M.A. Poisson
  • Function : Author
No file

Dates and versions

hal-00149716 , version 1 (28-05-2007)

Identifiers

  • HAL Id : hal-00149716 , version 1

Cite

Y. Guhel, J.C. Pesant, Jean-Claude de Jaeger, B. Boudart, P. Dhamelincourt, et al.. Isolation de transistors dans la filière nitrure de gallium par implantation d'argon. 9èmes Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique, JNMO 2002, 2002, Saint Aigulf, France. ⟨hal-00149716⟩
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