Conference Papers
Year : 2002
Collection IEMN : Connect in order to contact the contributor
https://hal.science/hal-00149716
Submitted on : Monday, May 28, 2007-11:21:43 AM
Last modification on : Friday, March 24, 2023-2:52:48 PM
Dates and versions
Identifiers
- HAL Id : hal-00149716 , version 1
Cite
Y. Guhel, J.C. Pesant, Jean-Claude de Jaeger, B. Boudart, P. Dhamelincourt, et al.. Isolation de transistors dans la filière nitrure de gallium par implantation d'argon. 9èmes Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique, JNMO 2002, 2002, Saint Aigulf, France. ⟨hal-00149716⟩
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