Characterization of mems devices using a polarisation interferometer - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Integrated Ferroelectrics Année : 2002

Characterization of mems devices using a polarisation interferometer

D. Jenkins
  • Fonction : Auteur
W. Clegg
  • Fonction : Auteur
X. Liu
E. Fribourg-Blanc
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00149626 , version 1 (28-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00149626 , version 1

Citer

D. Jenkins, W. Clegg, X. Liu, E. Fribourg-Blanc, Eric Cattan. Characterization of mems devices using a polarisation interferometer. Integrated Ferroelectrics, 2002, 50, pp.91-99. ⟨hal-00149626⟩
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