Fabrication of a pMUT using silicon bulk micromachining and a sputtered PZT layer - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Proc. of the 2nd WorkShop on MUT, Besançon Année : 2002

Fabrication of a pMUT using silicon bulk micromachining and a sputtered PZT layer

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00123195 , version 1 (08-01-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00123195 , version 1

Citer

W. Daniau, Karim Dogheche, S. Ballandras, Eric Cattan, Denis Remiens, et al.. Fabrication of a pMUT using silicon bulk micromachining and a sputtered PZT layer. Proc. of the 2nd WorkShop on MUT, Besançon, 2002, pp. june. ⟨hal-00123195⟩
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