Fabrication of a pMUT using silicon bulk micromachining and a sputtered PZT layer
W. Daniau
(1)
,
Karim Dogheche
(1)
,
S. Ballandras
(1)
,
Eric Cattan
(2, 3)
,
Denis Remiens
(2, 3)
,
W. Steichen
(1, 4, 5)
,
P. Blind
(6)
1
FEMTO-ST -
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
2 MAMINA - IEMN - Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN
3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
4 Institute of Atomic Physics
5 Temex
6 CETEHOR [Département technique du Comité FRANCECLAT]
2 MAMINA - IEMN - Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN
3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
4 Institute of Atomic Physics
5 Temex
6 CETEHOR [Département technique du Comité FRANCECLAT]
Karim Dogheche
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1307780
- IdRef : 105664197
Eric Cattan
- Fonction : Auteur
- PersonId : 746767
- IdHAL : eric-cattan
- ORCID : 0000-0002-6576-5800
- IdRef : 151097542
Denis Remiens
- Fonction : Auteur
- PersonId : 751690
- IdHAL : denis-remiens
- ORCID : 0000-0002-6761-1442