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Communication Dans Un Congrès Année : 2004

Light scattering of the scattered field for the analysis of microelectronics patterns

Carole Deumie
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 834007
Olivier Gilbert
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 834030
Claude Amra
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00082263 , version 1 (27-06-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00082263 , version 1

Citer

Carole Deumie, Olivier Gilbert, Claude Amra. Light scattering of the scattered field for the analysis of microelectronics patterns. Workshop Scatterometry, 2004, Porquerolles, France. ⟨hal-00082263⟩
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