Communication Dans Un Congrès
Année : 2004
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https://hal.science/hal-00082263
Soumis le : mardi 27 juin 2006-13:11:29
Dernière modification le : mardi 29 avril 2025-13:20:42
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00082263 , version 1
Citer
Carole Deumié, Olivier Gilbert, Claude Amra. Light scattering of the scattered field for the analysis of microelectronics patterns. Workshop Scatterometry, 2004, Porquerolles, France. ⟨hal-00082263⟩
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