"Porosimetry measurements on low k dielectric constant thin layers by coupling spectroscopic ellipsometry and solvent adsorption-desorption" - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Porous Materials Année : 2005

"Porosimetry measurements on low k dielectric constant thin layers by coupling spectroscopic ellipsometry and solvent adsorption-desorption"

P. Revol
  • Fonction : Auteur
D. Perret
  • Fonction : Auteur
F. Bertin
  • Fonction : Auteur
F. Fusalba
  • Fonction : Auteur
V. Rouessac
A. Chabli
G. Passemard
  • Fonction : Auteur

Domaines

Chimie

Dates et versions

hal-00077994 , version 1 (02-06-2006)

Identifiants

Citer

P. Revol, D. Perret, F. Bertin, F. Fusalba, V. Rouessac, et al.. "Porosimetry measurements on low k dielectric constant thin layers by coupling spectroscopic ellipsometry and solvent adsorption-desorption". Journal of Porous Materials, 2005, 12, pp.113-121. ⟨10.1007/s10934-005-6768-9⟩. ⟨hal-00077994⟩
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