"Porosimetry measurements on low k dielectric constant thin layers by coupling spectroscopic ellipsometry and solvent adsorption-desorption" - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal of Porous Materials Année : 2005

"Porosimetry measurements on low k dielectric constant thin layers by coupling spectroscopic ellipsometry and solvent adsorption-desorption"

P. Revol
  • Fonction : Auteur
D. Perret
CV
F. Bertin
  • Fonction : Auteur
F. Fusalba
  • Fonction : Auteur
V. Rouessac
Institut Européen des membranes
CV
A. Chabli
G. Passemard
  • Fonction : Auteur
A. Ayral
  • Fonction : Auteur
Institut Européen des membranes

Domaines

Chimie

Nathalie Bonneval  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00077994

Soumis le : vendredi 2 juin 2006-09:03:11

Dernière modification le : vendredi 11 octobre 2024-13:20:18

Consulter sur la plateforme ISTEX

Dates et versions

hal-00077994 , version 1 (02-06-2006)

Identifiants

Citer

P. Revol, D. Perret, F. Bertin, F. Fusalba, V. Rouessac, et al.. "Porosimetry measurements on low k dielectric constant thin layers by coupling spectroscopic ellipsometry and solvent adsorption-desorption". Journal of Porous Materials, 2005, 12, pp.113-121. ⟨10.1007/s10934-005-6768-9⟩. ⟨hal-00077994⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CNRS IEM CHIMIE UNIV-MONTPELLIER
57 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

More