Usinage de membranes diélectriques sur GaAs: applications aux structures coplanaires suspendues - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 1996
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00076914 , version 1 (29-05-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00076914 , version 1

Citer

Patrice Salzenstein, Olivier Dupuis, Eric Lheurette. Usinage de membranes diélectriques sur GaAs: applications aux structures coplanaires suspendues. Actes de la 3e Journée Nationale Microtechnologies, Lyon, 25 Mars 1996, 1996, France. pp.112-113. ⟨hal-00076914⟩
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