Communication Dans Un Congrès
Année : 1996
Patrice Salzenstein : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00076914
Soumis le : lundi 29 mai 2006-11:24:35
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00076914 , version 1
Citer
Patrice Salzenstein, Olivier Dupuis, Eric Lheurette. Usinage de membranes diélectriques sur GaAs: applications aux structures coplanaires suspendues. Actes de la 3e Journée Nationale Microtechnologies, Lyon, 25 Mars 1996, 1996, France. pp.112-113. ⟨hal-00076914⟩
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