Tuning the electrostatic properties of silicon-on-insulating multilayer (SOIM) structures - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

Tuning the electrostatic properties of silicon-on-insulating multilayer (SOIM) structures

M. Kostrzewa
  • Fonction : Auteur
T. Nguyen
  • Fonction : Auteur
J. Mazellier
  • Fonction : Auteur
C. Deguet
  • Fonction : Auteur
L. Clavelier
  • Fonction : Auteur
K. Landry
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00392058 , version 1 (05-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00392058 , version 1

Citer

M. Kostrzewa, T. Nguyen, J. Mazellier, C. Deguet, L. Clavelier, et al.. Tuning the electrostatic properties of silicon-on-insulating multilayer (SOIM) structures. 10th Int. Symp. on Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology, and Applications, Joint Meeting (214th ECS Meeting and 2008 Fall Meeting of the Electrochemical Soc. of Japan), Honolulu, Hawaii, USA, Oct 2008, -, France. ⟨hal-00392058⟩
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