Caractérisation de capacités MIM Cu-Si3N4-Cu en technologie CMOS 0,12 µm pour des applications radiofréquences. - Archive ouverte HAL Access content directly
Conference Papers Year : 2005

Caractérisation de capacités MIM Cu-Si3N4-Cu en technologie CMOS 0,12 µm pour des applications radiofréquences.

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Ph. Lombard
  • Function : Author
O. Exshaw
  • Function : Author
A. Farcy
  • Function : Author
J. Torres
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Dates and versions

hal-00147181 , version 1 (16-05-2007)

Identifiers

  • HAL Id : hal-00147181 , version 1

Cite

Ph. Lombard, Jean-Daniel Arnould, O. Exshaw, Ph. Benech, A. Farcy, et al.. Caractérisation de capacités MIM Cu-Si3N4-Cu en technologie CMOS 0,12 µm pour des applications radiofréquences.. Telecom'2005 & 4èmes Journées Franco-Maghrébines des Microondes et leurs Applications, 2005, RABAT, Morocco. pp.XX. ⟨hal-00147181⟩

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