Utilisation du spectre de Fourier des courbes de réflectivité X pour l'étude d'empilements de couches minces
Résumé
La réflectivité en X rasants est couramnent utilisée pour la caractérisation d'empilements de couches minces. Les paramètres à déterminer sont: épaisseurs, rugosités, et indices. On peut y accéder en ajustant la courbe aexperimentale de reflectivité avec une courbe theorique calculée à partir de ces pamètres (méthode d 'essai-erreur). Une autre méthode consiste à utiliser la transformation de Fourier pour étudier directement les caracteristiques de l'empilement La courbe expérimentale n'étant pas périodique, les données doivent être préalablement traitées avant d'appliquer la transformation de Fourier. A partir d'exemples réels, on montre comment l'analyse deFourrier donne des indications sur le modèle de l'empilement. Les résultats permettent essentiellement d'évaluer les distances entre toutes les interfaces. La précision des réultats depent de la bande passante angulaire de détection. La largeur des pics dans le spectre permet également d'évaluer la rugosité des interfaces relatives au pic. La méthode est limitée par les propriétés liées au caractère discret de la transformée de Fouria. Les résultats sont affinés par la méthode d'essai-erreur précédemment décrite, mais mais partir de parametres déja connus approximativement, ce qui permet de gagner un temps considérable pour l'ajustement des courbes.
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