Formalisme rationnel le la méthode de détermination des contraintes résiduelles par diffraction des rayons X: application aux couches minces et multicouches - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal de Physique III Année : 1993

Formalisme rationnel le la méthode de détermination des contraintes résiduelles par diffraction des rayons X: application aux couches minces et multicouches

K. Badawi
  • Fonction : Auteur
C. Kahloun
  • Fonction : Auteur
J. Grilhé
  • Fonction : Auteur

Résumé

L'utilisation du formalisme rationnel dans la méthode de détermination des contraintes résiduelles par diffraction des rayons X améliore la rigueur, la précision et l'élégance mathématique de la méthode. Elle permet d'éviter les approximations faites dans le formalisme conventionnel, et apporte des corrections qui dépassent 15 % dans certains cas de couches minces et de multicouches.

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jpa-00248991 , version 1 (04-02-2008)

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Citer

K. Badawi, C. Kahloun, J. Grilhé. Formalisme rationnel le la méthode de détermination des contraintes résiduelles par diffraction des rayons X: application aux couches minces et multicouches. Journal de Physique III, 1993, 3 (6), pp.1183-1188. ⟨10.1051/jp3:1993108⟩. ⟨jpa-00248991⟩

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