Le nitrure d'aluminium : de la poudre au substrat - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal de Physique III Année : 1993

Le nitrure d'aluminium : de la poudre au substrat

J. Jarrige
  • Fonction : Auteur
J. Mexmain
  • Fonction : Auteur
M. Oumaloul
  • Fonction : Auteur
R. Bachelard
  • Fonction : Auteur
J. Disson
  • Fonction : Auteur

Résumé

Le nitrure d'aluminium est le matériau appelé à remplacer l'alumine ou l'oxyde de béryllium en tant que substrat dans les circuits de puissance en microélectronique. La poudre utilisée préparée par carbonitruration a été mise en suspension dans le milieu azéotropique butanone-2-éthanol en présence d'un ester phosphorique. Conductivité, sédimentation, viscosité ont permis d'appréhender les phénomènes qui permettent de défloculer la suspension. La stabilité est assurée par un mécanisme électrostatique ayant une contribution stérique. Le nitrure est coulé en bande puis fritté à 1 850 °C sous azote. La qualité et la faible teneur du liant permettent de l'éliminer dans le même four à 650 °C. Les conductivités thermiques des substrats sont comprises entre 160 et 200 W/m.K.

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Dates et versions

jpa-00248951 , version 1 (04-02-2008)

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Citer

J. Jarrige, J. Mexmain, M. Oumaloul, R. Bachelard, J. Disson. Le nitrure d'aluminium : de la poudre au substrat. Journal de Physique III, 1993, 3 (4), pp.703-712. ⟨10.1051/jp3:1993106⟩. ⟨jpa-00248951⟩

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