Article Dans Une Revue Revue de Physique Appliquée Année : 1977

Nouvelle méthode de microanalyse des composants électroniques

F. Bénière
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Résumé

Nous avons mis au point une méthode de microanalyse des circuits intégrés, en particulier ceux à substrat de silicium. Cette méthode qualitative et quantitative permet de déterminer la distribution des atomes à l'intérieur et à la surface du substrat. Elle combine les avantages de la précision du sectionnement mécanique (1 μ à 1 % près) et de la sensibilité de l'analyse par les méthodes nucléaires (10-9 à 10-12 g).

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F. Bénière. Nouvelle méthode de microanalyse des composants électroniques. Revue de Physique Appliquée, 1977, 12 (11), pp.1805-1809. ⟨10.1051/rphysap:0197700120110180500⟩. ⟨jpa-00244405⟩

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