Impact of the growth mechanisms on Si and glass substrates on the structural, optical and electrical properties of anatase TiO2 thin films synthetized by ALD technique
Aline Jolivet
(1, 2)
,
C. Labbe
(1, 2)
,
Cédric Frilay
(1, 2)
,
Olivier Debieu
(1)
,
Philippe Marie
(1, 2)
,
Franck Lemarié
(1)
,
Xavier Portier
(1, 2)
,
C. Grygiel
(3, 1, 4)
,
Upadhyay, M
,
Adrian David
(5, 6, 7, 8, 9)
,
Arnaud Fouchet
(9)
,
U. Luders
(9)
,
Julien Cardin
(1, 2)
1
CIMAP - UMR 6252 -
Centre de recherche sur les Ions, les MAtériaux et la Photonique
2 NIMPH - Nanomatériaux, Ions et Métamatériaux pour la Photonique
3 MADIR - Matériaux, Défauts et IRradiations
4 CIRIL - Centre Interdisciplinaire de Recherche Ions Lasers
5 CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique
6 NU - Normandie Université
7 ENSICAEN - École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen
8 UNICAEN - Université de Caen Normandie
9 CRISMAT - Laboratoire de cristallographie et sciences des matériaux
2 NIMPH - Nanomatériaux, Ions et Métamatériaux pour la Photonique
3 MADIR - Matériaux, Défauts et IRradiations
4 CIRIL - Centre Interdisciplinaire de Recherche Ions Lasers
5 CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique
6 NU - Normandie Université
7 ENSICAEN - École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen
8 UNICAEN - Université de Caen Normandie
9 CRISMAT - Laboratoire de cristallographie et sciences des matériaux
Aline Jolivet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1320888
- IdRef : 271216018
C. Labbe
- Fonction : Auteur
- PersonId : 3598
- IdHAL : christophe-labbe
- ORCID : 0000-0002-1353-7582
- IdRef : 157874303
Cédric Frilay
- Fonction : Auteur
- PersonId : 4294
- IdHAL : cedric-frilay
Olivier Debieu
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1589718
- ORCID : 0009-0005-3673-713X
- IdRef : 204591597
Philippe Marie
- Fonction : Auteur
- PersonId : 3534
- IdHAL : philippe-marie
- ORCID : 0000-0001-7291-5857
- IdRef : 151870659
Xavier Portier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 3536
- IdHAL : xavier-portier
- IdRef : 158979265
C. Grygiel
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1154
- IdHAL : grygiel-clara
- ORCID : 0000-0002-4915-1016
- IdRef : 130903353
Upadhyay, M
- Fonction : Auteur
Adrian David
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1249352
- ORCID : 0000-0002-1028-9966
Arnaud Fouchet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 177661
- IdHAL : arnaud-fouchet
- ORCID : 0000-0002-3604-4756
- IdRef : 114124345
U. Luders
- Fonction : Auteur
- PersonId : 176852
- IdHAL : ulrike-luders
- ORCID : 0000-0002-5766-8031
- IdRef : 089766687
Julien Cardin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1155
- IdHAL : julien-cardin
- ORCID : 0000-0001-7069-4368
- IdRef : 082777020