Effect of high-k materials in the control dielectric stack of nanocrystal memories
E. Spitale
,
D. Corso
,
I. Crupi
,
G. Nicotra
(1)
,
S. Lombardo
(2)
,
Damien Deleruyelle
(3, 4, 5)
,
M. Gely
(6)
,
N. Buffet
,
B. De Salvo
(6)
,
C. Gerardi
(7)
1
IMM -
Institute for Microelectronics and Microsystems
2 LAM - Laboratoire d'Astrophysique de Marseille
3 INL - ELEC - INL - Electronique
4 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
5 INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon
6 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
7 ANL - Argonne National Laboratory [Lemont]
2 LAM - Laboratoire d'Astrophysique de Marseille
3 INL - ELEC - INL - Electronique
4 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
5 INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon
6 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
7 ANL - Argonne National Laboratory [Lemont]
E. Spitale
- Fonction : Auteur
D. Corso
- Fonction : Auteur
I. Crupi
- Fonction : Auteur
Damien Deleruyelle
- Fonction : Auteur
- PersonId : 174122
- IdHAL : damien-dlr
- ORCID : 0000-0003-2394-1359
N. Buffet
- Fonction : Auteur