Revisited Thermal and Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition processes of metal nitrides
E. Blanquet
(1)
,
Arnaud Mantoux
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Frédéric Mercier
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,
Raphaël Boichot
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Ioana Nuta
(1)
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Sabine Lay
(1)
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Michel Pons
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,
Carmen Jiménez
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E. Blanquet
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Arnaud Mantoux
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Frédéric Mercier
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Raphaël Boichot
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Ioana Nuta
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Sabine Lay
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Michel Pons
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Carmen Jiménez
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