Communication Dans Un Congrès
Année : 2021
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https://hal.science/hal-04776182
Soumis le : lundi 11 novembre 2024-10:08:56
Dernière modification le : mercredi 8 avril 2026-10:15:40
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04776182 , version 1
Citer
Konstantina Christina Topka, Laura Decosterd, Hugues Vergnes, Brigitte Caussat, Constantin Vahlas, et al.. GAS PHASE DECOMPOSITION PATHWAYS OF TRIS(DIMETHYLSILYL)AMINE IN CVD. 19th International Symposium on Silicon Chemistry 2021, ISOS2021, Jul 2021, Toulouse, France. ⟨hal-04776182⟩
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