Communication Dans Un Congrès Année : 2021

GAS PHASE DECOMPOSITION PATHWAYS OF TRIS(DIMETHYLSILYL)AMINE IN CVD

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04776182 , version 1 (11-11-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04776182 , version 1

Citer

Konstantina Christina Topka, Laura Decosterd, Hugues Vergnes, Brigitte Caussat, Constantin Vahlas, et al.. GAS PHASE DECOMPOSITION PATHWAYS OF TRIS(DIMETHYLSILYL)AMINE IN CVD. 19th International Symposium on Silicon Chemistry 2021, ISOS2021, Jul 2021, Toulouse, France. ⟨hal-04776182⟩
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