Brevet Année : 2023

Système de contrôle de dépôt de couches minces comportant une source de lumière continue et une cavité optique

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04765349 , version 1 (04-11-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04765349 , version 1

Citer

Guillaume Saint-Girons, Roman Rousseau, Claude Botella, Jerome Morville. Système de contrôle de dépôt de couches minces comportant une source de lumière continue et une cavité optique. France, N° de brevet: FR2308684. 2023. ⟨hal-04765349⟩
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