Brevet
Année : 2023
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https://hal.science/hal-04765349
Soumis le : lundi 4 novembre 2024-14:37:54
Dernière modification le : mercredi 6 novembre 2024-14:25:50
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04765349 , version 1
Citer
Guillaume Saint-Girons, Roman Rousseau, Claude Botella, Jerome Morville. Système de contrôle de dépôt de couches minces comportant une source de lumière continue et une cavité optique. France, N° de brevet: FR2308684. 2023. ⟨hal-04765349⟩
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