Superconducting properties of NbN thin films deposited by plasma enhanced atomic layer deposition using a metalorganic precursor
Frédéric Mercier
(1)
,
L. Tian
,
Ivan Bottala
,
V Marchetto
,
M Jacquemin
,
Alexandre Crisci
,
Roman Reboud
,
Arnaud Mantoux
,
Gregory Berthome
,
Andre Sulpice
,
Laetitia Rapenne
,
François Weiss
,
E. Blanquet
(1)
,
Carmen Jiménez
Frédéric Mercier
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L. Tian
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Ivan Bottala
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V Marchetto
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M Jacquemin
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Alexandre Crisci
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Roman Reboud
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Arnaud Mantoux
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Gregory Berthome
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Andre Sulpice
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Laetitia Rapenne
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François Weiss
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E. Blanquet
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Carmen Jiménez
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