Chapitre D'ouvrage Année : 2019

Dates et versions

hal-04733083 , version 1 (11-10-2024)

Identifiants

Citer

David Munoz-Rojas, Viet Huong Nguyen, César Masse de la Huerta, Carmen Jiménez, Daniel Bellet. Spatial Atomic Layer Deposition. Chemical Vapor Deposition for Nanotechnology, IntechOpen, 2019, ⟨10.5772/intechopen.82439⟩. ⟨hal-04733083⟩
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