Exploring Nanorobotics Integration with Microwave and Millimeter-Wave Techniques for Advanced On-wafer Measurement
Cérine Mokthari
(1)
,
Clément Lenoir
(1)
,
Mohamed Sebbache
(1, 2)
,
Christophe Boyaval
(3, 1)
,
Maxime Berthe
(1, 4)
,
Gilles Dambrine
(1, 2, 5)
,
Kamel Haddadi
(1, 2)
1
IEMN -
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
2 CSAM - IEMN - Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN
3 CMNF - IEMN - Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN
4 PCMP - IEMN - Plateforme de Caractérisation Multi-Physiques - IEMN
5 ANODE - IEMN - Advanced NanOmeter DEvices - IEMN
2 CSAM - IEMN - Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN
3 CMNF - IEMN - Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN
4 PCMP - IEMN - Plateforme de Caractérisation Multi-Physiques - IEMN
5 ANODE - IEMN - Advanced NanOmeter DEvices - IEMN
Mohamed Sebbache
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1121696
- IdHAL : mohamed-sebbache-59
- ORCID : 0000-0002-0004-261X
Christophe Boyaval
- Fonction : Auteur
- PersonId : 747971
- IdHAL : christophe-boyaval
Maxime Berthe
- Fonction : Auteur
- PersonId : 744929
- IdHAL : maxime-berthe
- ORCID : 0000-0002-3918-7111
- IdRef : 121162656
Kamel Haddadi
- Fonction : Auteur
- PersonId : 745983
- IdHAL : kamel-haddadi
- ORCID : 0000-0002-4857-5220
- IdRef : 124600530