Post-growth tuning of detachable Ge membranes adhesion strength via porous Ge transformation
Ahmed Ayari
(1, 2)
,
Firas Zouaghi
(1, 2)
,
Bouraoui Ilahi
(1, 2, 3)
,
Tadeáš Hanuš
(1, 2)
,
Jinyoun Cho
(4)
,
Kristof Dessein
(4)
,
Denis Machon
(1, 2, 5)
,
Nicolas Quaegebeur
(1, 6)
,
Abderraouf Boucherif
(1, 2)
1
3IT -
Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke]
2 LN2 - Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke]
3 DistriQ - Zone d'Innovation Quantique
4 Corporate R&D-Umicore Olen [BELGIUM]
5 INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon
6 UdeS - Département de génie mécanique [Sherbrooke]
2 LN2 - Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke]
3 DistriQ - Zone d'Innovation Quantique
4 Corporate R&D-Umicore Olen [BELGIUM]
5 INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon
6 UdeS - Département de génie mécanique [Sherbrooke]