Communication Dans Un Congrès Année : 2024

Fabrication de métasurfaces pour la nanoscopie et la détection plasmonique

Résumé

La plasmonique impose des exigences élevées en matière de nanofabrication, en particulier en ce qui concerne la taille et la forme des motifs créés par la lithographie. En effet, la précision requise pour créer des motifs complexes à l'échelle nanométrique joue un rôle crucial dans le développement de dispositifs optiques avancés. La conception de ces motifs peut être très complexe, nécessitant souvent l'utilisation d'algorithmes pour générer des structures présentant les propriétés optiques désirées. De plus, une fois les structures fabriquées, elles doivent être minutieusement caractérisées pour valider leur fabrication, ce qui peut être une tâche extrêmement chronophage. Nous présenterons deux exemples de fabrication : d’abord, la réalisation de très grands champs de plots ronds calibrés en taille, utilisés notamment pour la détection plasmonique de molécules gazeuses et de leur réactivité, et ensuite, des métasurfaces spirales de symétrie cyclique pour la nanoscopie et, également, pour une étude de séparation de faisceaux en fonction de leur spin optique. Nous aborderons les stratégies employées pour concevoir le design et fabriquer ces métasurfaces, ainsi que les méthodes pour automatiser leur observation, leur caractérisation et leur validation.

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Dates et versions

hal-04596454 , version 1 (13-01-2025)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04596454 , version 1

Citer

Igor Ozerov, F. Bedu, Yeon Ui Lee, Benjamin Demirdjian. Fabrication de métasurfaces pour la nanoscopie et la détection plasmonique. Journées Renatech Litho/Gravure 2024, Jun 2024, Valbonne, France. ⟨hal-04596454⟩
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