Protections périphériques des composants 1200 V
Résumé
La protection périphérique des composants de puissance est un élément essentiel afin d'atteindre les hautes tensions autorisées par les matériaux dits à grand gap. Différentes solutions ont été envisagées, comme des gravures ou des implantations ioniques autour de la zone active. La gravure est une étape particulière au cours du procédé de fabrication. En revanche, les étapes d'implantation sont souvent
nécessaires à la réalisation des zones actives des composants, c'est pourquoi nous avons envisagé de nous en servir pour la protection de ces composants, dans un souci de réduction du nombre d'étapes et de simplification des procédés. La dose est le paramètre à ajuster pour ces zones de protection. Nous allons montrer expérimentalement qu'une dose élevée combinée à une énergie d'implantation élevée sera
bien moins efficace qu'une faible dose liée à une énergie d'implantation faible.
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