Identification du coefficient d'échange convectif par la méthode du gradient conjugué dans un procédé de dépôt assisté plasma (PACVD)
Résumé
Dans cette communication, un modèle décrivant l’évolution thermique du substrat à revêtir par un procédé de dépôt chimique en phase gazeuse assisté plasma est proposé. A l’aide d’informations fournies par des thermocouples, une technique inverse est mise en œuvre pour l’identification du coefficient d’échange convectif. La méthode présentée consiste à la minimisation d’un critère quadratique par l’algorithme du gradient conjugué.
Domaines
Sciences de l'ingénieur [physics]| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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